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設備有一個XY平臺,共有超過15個運動軸。晶圓探針檢測需要非常精準的測量,因此必須保證系統內的電磁噪聲超小。客戶不希望采用體積龐大、價格昂貴且需要大量時間來開發、組裝和測試的外部EMI濾波組件。此外,運動整定時間小于30毫秒和靜止抖動小于100納米,
產品詳情
設備有一個XY平臺,共有超過15個運動軸。晶圓探針檢測需要非常精準的測量,因此必須保證系統內的電磁噪聲超小。客戶不希望采用體積龐大、價格昂貴且需要大量時間來開發、組裝和測試的外部EMI濾波組件。此外,運動整定時間小于30毫秒和靜止抖動小于100納米,同時提高整體機器產能。
解決方案:
a.選擇Gold Solo Bell伺服驅動器和Platinum Maestro多軸運動控制器
b.選擇Gold Solo Bell伺服驅動器,因為它足夠小,可以安裝在機器內和移動負載上,并且足夠堅固,可以承受機械沖擊和高加速度。將驅動器安裝在機器內部無需電纜和電纜載體進出機器,并且無需電氣柜,這些使得整個機器尺寸減少了大約30%。
c.使用Gold Solo Bell,機器的運動整定時間減少到10ms以下,靜止抖動小于20nm,大大低于要求。該驅動器的極高功率轉換效率使機器本身更加高效,無需使用需要持續維護的耗能冷卻方法。
e.Platinum Maestro被選為機器運動軸的主控制器。卓越的伺服驅動器和多軸控制能力相結合,縮短了探針之間的時間,顯著提高了整體產能。
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